ลักษณะของการใช้ลำอิเล็กตรอนเพื่อแปรรูปรูเล็กๆ ในอุตสาหกรรมเครื่องจักร

การประมวลผลลำแสงอิเล็กตรอนอยู่ภายใต้สภาวะสุญญากาศ โดยใช้ลำแสงอิเล็กตรอนโฟกัสที่มีความหนาแน่นของพลังงานสูงมากเพื่อกระแทกพื้นที่ขนาดเล็กมากบนพื้นผิวของชิ้นงานด้วยความเร็วสูงมาก ในระยะเวลาอันสั้นพลังงานส่วนใหญ่จะถูกแปลงเป็นพลังงานความร้อนเพื่อให้วัสดุชิ้นงานในส่วนที่กระแทกมีอุณหภูมิสูงหลายพันองศาเซลเซียสซึ่งทำให้เกิดการแปรสภาพเป็นแก๊สเฉพาะที่ของวัสดุและถูกดูดออกไปโดยสุญญากาศ ระบบ. ปัจจุบันสามารถเจาะรูที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางน้อยกว่า 3um ได้ ซึ่งเป็นประโยชน์อย่างยิ่งสำหรับการเจาะชิ้นส่วนต่างๆ ในสาขาไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เป็นวิธีการประมวลผลที่ขาดไม่ได้ในการประมวลผลรูขนาดเล็ก ลักษณะของการประมวลผลลำแสงอิเล็กตรอน 1 ตามทฤษฎีแล้ว การประมวลผลลำแสงอิเล็กตรอนสามารถประมวลผลรูขนาดเล็กที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางน้อยกว่า 1um ในเวลาเดียวกัน ความยาวของส่วนที่บางที่สุดหลังจากที่ลำแสงอิเล็กตรอนถูกโฟกัสคือหลายสิบเท่าของเส้นผ่านศูนย์กลางของหน้าตัด ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับการประมวลผลรูลึกขนาดเล็ก ความเข้มและตำแหน่งของลำแสงอิเล็กตรอนสามารถควบคุมได้อย่างง่ายดายโดย สนามแม่เหล็กและสนามไฟฟ้าจึงง่ายต่อการควบคุมโปรแกรม ตระหนักถึงการเจาะรูเล็ก ๆ ความเร็วสูงอัตโนมัติ 3 เมื่อลำอิเล็กตรอนเจาะรูเล็ก ๆ แรงมีขนาดเล็ก ความเครียดและการเสียรูปมีขนาดเล็ก และสามารถใช้ได้กับที่เปราะ วัสดุ, วัสดุที่มีความเหนียว, ตัวนำและไม่ตัวนำ ④ รูเล็ก ๆ ของลำอิเล็กตรอนถูกสร้างขึ้นในสุญญากาศสูง โดยดำเนินการในระดับปานกลาง เกือบจะหลีกเลี่ยงปรากฏการณ์ออกซิเดชันในกระบวนการอากาศได้เกือบทั้งหมด และเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเจาะรูเล็ก ๆ ในวัสดุที่ถูกออกซิไดซ์ได้ง่ายและวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความต้องการความบริสุทธิ์สูงมาก ⑤การเจาะลำแสงอิเล็กตรอนต้องใช้แรงดันไฟฟ้าเร่งและความสูงของปั๊มนับหมื่นโวลต์ อุปกรณ์สุญญากาศมีความซับซ้อนและมีราคาแพงกว่า ดังนั้นจึงมีข้อจำกัดบางประการในการผลิตและการใช้งาน ปัจจุบันส่วนใหญ่จะใช้ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ คู่ของ: คุณสมบัติของการตัดเฉือนอัลตราโซนิกในกระบวนการตัดเฉือนรูเล็ก